观点网讯：10月14日，华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E。
据介绍，该产品是国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机。
该设备搭载华海清科自研的软件平台。据介绍，整机国产化率95.6%，预计2027年实现全部国产化。
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