金融界2025年3月19日消息，国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请一项名为“一种臭氧水制备方法”的专利，公开号CN 119633629 A，申请日期为2024年12月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种臭氧水制备方法，该方法由臭氧发生器制备出臭氧气体；由微纳米气泡装置通过射流方式喷射高压超纯水以吸入臭氧气体，使得臭氧气体以微纳米气泡的形式混入高压超纯水中，形成气液混合物；由气液分离混合装置破除气液混合物中的微纳米气泡使得臭氧气体溶解到超纯水中以形成臭氧水，并将未能溶解的臭氧气体分离排出。本发明的臭氧水制备方法具有能够制备稳定高浓度臭氧水的优点，为确保晶圆的清洗效果和产品质量提供了有力保障。

　　天眼查资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本38671.777万人民币，实缴资本9000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息65条，专利信息309条，此外企业还拥有行政许可42个。