(来源:半导体前沿)

—论坛信息—
名称:空白掩模与合成石英材料技术论坛2026
时间:2026年12月3-4日
地点:苏州
主办方:亚化咨询
—会议背景—
空白掩模版(Blank Mask)是先进半导体和新型显示光刻工艺中的关键原材料,其底层依托高纯合成石英材料和高精度光掩模石英基板。以 SiCl₄、有机硅等为前驱体的气相合成路线制得高纯合成石英玻璃锭,再经石英基板生产空白掩模版。
在成熟制程与先进制程并行扩产、HBM 高带宽存储,AI 芯片需求拉动下,光刻工艺对掩模石英基板和空白掩模版提出更严苛的性能指标。同时,TFT‑LCD、OLED、Micro‑LED 等新型显示对石英基板的平整度、尺寸精度和批量一致性也不断抬高门槛。这些要求正反向推动合成石英原料体系、气相合成工艺、玻璃化与脱羟技术以及大尺寸石英基板精密加工的全面升级。
目前,高端合成石英玻璃与空白掩模版仍由少数日美企业主导,对中国半导体与 AI 产业链的算力供给和工艺安全构成关键约束。面向成熟制程与先进工艺节点以及 AI 芯片量产,构建以合成石英为核心的高端掩模材料体系,实现石英基板和空白掩模版的国产化,是半导体与算力产业链的重要基础工程。
在此背景下,亚化咨询将于2026年12月3–4日在苏州主办空白掩模与合成石英材料技术论坛2026,以“气相合成—石英基板—空白掩模版”为主线,聚焦先进半导体和AI芯片制造所需的合成石英技术路线、石英基板工艺和空白掩模版制造与检测技术,推动材料、工艺、装备与下游晶圆厂/面板厂协同,探索高端掩模材料国产化和算力基础设施安全的实现路径。

—赞助方案—
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